مضخات التفريغ المصغرة هي مضخات تستخدم الغاز كوسيلة عمل أساسية. مناسبة للتشغيل الجاف والتباطؤ-على المدى الطويل، فهي تخلق فراغًا (ضغطًا سلبيًا) عن طريق تحريك الحجاب الحاجز لإجراء عملية شفط وتفريغ الغاز من خلال حركة ترددية مدفوعة بمحرك-. تتميز هذه الأجهزة بفوهات الشفط والعادم. تشتمل النماذج المتخصصة على -نماذج الشفط/التمدد المزدوجة الغرض ونماذج الماء/الغاز للتكيف مع ظروف التشغيل المختلفة.
وتشمل المكونات الأساسية مضخة الحجاب الحاجز وجهاز التحكم في الفراغ. المنتج النموذجي هو Busch RA0020F (سرعة الضخ 20 م³/ساعة، الضغط الأقصى 0.1 ملي بار). يركز التطوير التكنولوجي على التصغير، وكفاءة الطاقة، والذكاء، ودمج تكنولوجيا الرفع المغناطيسي، وتقنية التشحيم الخالية من الزيت-، والتصميم الصديق للبيئة. وتشمل التطبيقات الرئيسية المعدات الطبية (أجهزة الشفط، وأجهزة التهوية)، والرصد البيئي، وتصنيع أشباه الموصلات، وصناعة الطاقة الجديدة. ومن المتوقع أن يصل حجم السوق المحلية إلى 5 مليارات يوان في عام 2024.